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    下載一種提拉法小型晶體生長裝置的技術資料

    文檔序號:44520924

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    本發明公開了一種提拉法小型晶體生長裝置,采用分體式的第一密封組件和第二密封組件,并將坩堝設置在第二密封組件上,第二密封組件可在第一直線模組的驅動下與第一密封組件對接/分離,通過在第一密封組件外側套設有加熱爐,當第二密封組件與第一密封組件對接...
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