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    下載一種半導體結構以及形成方法的技術資料

    文檔序號:44933266

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    本公開提供了一種半導體結構和形成方法,其中,半導體結構,包括:襯底、互連結構、多個第一接觸插塞和導電插塞;其中,導電插塞,貫穿襯底,并通過多個第一接觸插塞,連接至互連結構;其中,多個第一接觸插塞中的一部分呈同心環狀排布。這樣,能夠避免導電插...
    該專利屬于湖北江城實驗室所有,僅供學習研究參考,未經過湖北江城實驗室授權不得商用。

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