溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

基于TGV技術的室溫氣體探測器結構及制作方法涉及氣體傳感技術領域，特別是一種基于TGV結構的氣體探測器件。本發明提出了一種新型基于通孔結構的氣體探測器，該探測器利用通孔內的薄膜作為氣體傳感層，實現傳感功能表面的增大和結構的緊湊性，從而作為微...
該專利屬于北京工業大學所有，僅供學習研究參考，未經過北京工業大學授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。