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本申請案涉及形成高縱橫比開口的方法及形成高縱橫比特征的方法。所述方法包括在低于約0℃的溫度下移除電介質材料的一部分以在所述電介質材料中形成至少一個開口。所述至少一個開口包括大于約30:1的縱橫比。在低于約0℃的溫度下在所述至少一個開口中及所...
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