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本發明公開了一種檢測鋁連接線過熱缺陷的方法，在晶圓的鋁連線層以及鈦／氮化鈦阻擋層沉積完成后，沉積包含多個層間介質子層的層間介質，在任意一個或者多個層間介質子層沉積完成后，執行如下步驟：用具有連續光譜的光束傾斜照射晶圓表面，并用橢圓偏光計接收...該專利屬于中芯國際集成電路制造（上海）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中芯國際集成電路制造（上海）有限公司授權不得商用。
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本發明公開了一種檢測鋁連接線過熱缺陷的方法，在晶圓的鋁連線層以及鈦／氮化鈦阻擋層沉積完成后，沉積包含多個層間介質子層的層間介質，在任意一個或者多個層間介質子層沉積完成后，執行如下步驟：用具有連續光譜的光束傾斜照射晶圓表面，并用橢圓偏光計接收...