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一種用于控制供應給工藝的冷卻劑的溫度的方法，例如半導體工藝。該方法用于將冷卻劑冷卻至預定溫度、將冷卻劑控制在預定溫度處以及向半導體工藝傳遞冷卻劑。該方法包括反饋和前饋控制算法以便在穩定狀態工況下控制溫度達到大約±０．１℃以內而在最大熱加載和...
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