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本發明公開一種用硫酸石英砂閉環生產四氟化硅的方法。將95%～98%的硫酸和氟化物按比例連續加到氟化氫反應轉爐中反應產生氟化氫氣體，反應溫度為280～360℃。取其中65%～95%的硫酸與二氧化硅粉末預混合。將混合物加到反應器中并攪拌，加入液...
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