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本發明涉及一種摻雜二氧化鈦的石英玻璃及其制備方法。通過以下方法制備適合作為EUV光刻部件的所述摻雜二氧化鈦的石英玻璃：通過燃燒器噴嘴供給提供硅的反應氣體和提供鈦的反應氣體以及氫氣和氧氣，使反應氣體氧化或火焰水解以形成合成氧化硅-二氧化鈦精細...
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