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提供了用于有效晶圓布局的技術，其包含使用偏移網格來優化對可用晶圓空間的使用。這樣，相對于標準垂直網格，在晶圓上可制造的相同裸芯片數量可增大。通過添加附加的配準標記，實現了可在何處印刷場的每行/列的靈活性的增大。這個增大的自由度等級又允許優化...該專利屬于A.瓦雷拉;T.L.哈林;D.E.文萊爾所有，僅供學習研究參考，未經過A.瓦雷拉;T.L.哈林;D.E.文萊爾授權不得商用。
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