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本發明的目的在于提供一種OCVD設備反應器的噴淋頭及其連接結構，減少底層和中間層在底面焊接帶來的不利影響。其中，噴淋頭包括噴淋組件、頂蓋組件，頂蓋組件包括頂蓋，噴淋組件包括連接在一起的底層、中間層和頂層，底層和中間層之間形成冷卻水通道、冷卻...
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