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一種氟氣產(chǎn)生裝置，具有電解槽。在電解槽內(nèi)形成電解浴。在陰極室內(nèi)設(shè)置陰極，在陽極室內(nèi)設(shè)置陽極。通過向陰極以及陽極之間施加電壓而進行HF（氟化氫）的電解。從電解槽的陰極主要產(chǎn)生氫氣，從陽極主要產(chǎn)生氟氣。設(shè)置有兩個用于加熱填充于HF吸附塔的NaF...該專利屬于東洋炭素株式會社所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過東洋炭素株式會社授權(quán)不得商用。