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本發明提供了一種接觸式測量儀，包括底座、3個直線軸、真空吸盤安裝座、抽氣管、晶圓、真空吸盤、標準塊、標準塊固定座、接觸式測頭；所述的3個直線軸分別為X軸、Y軸、Z軸，其中Ｘ軸和Ｙ軸相互垂直并分別固定在底座上，Z軸與Ｘ軸和Ｙ軸構成的平面垂直，...該專利屬于昆山允可精密工業技術有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過昆山允可精密工業技術有限公司授權不得商用。
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