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一種多晶硅錠切割用定位晶托,包括底板、側面鎖緊裝置、角鎖緊裝置和多晶硅錠,在底板的底端設有支撐座,在方格中設有粘接孔,在側面定位模塊上設有兩個固定沉孔,在角定位模塊的中心設有一個固定沉孔,側面鎖緊裝置設置于側面定位模塊上,角鎖緊裝置設置在角...該專利屬于江蘇兆晶光電科技發展有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過江蘇兆晶光電科技發展有限公司授權不得商用。
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一種多晶硅錠切割用定位晶托,包括底板、側面鎖緊裝置、角鎖緊裝置和多晶硅錠,在底板的底端設有支撐座,在方格中設有粘接孔,在側面定位模塊上設有兩個固定沉孔,在角定位模塊的中心設有一個固定沉孔,側面鎖緊裝置設置于側面定位模塊上,角鎖緊裝置設置在角...