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    下載多環并聯式電容位移傳感器的技術資料

    文檔序號:8130009

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    本發明公開一種多環并聯式電容位移傳感器,包括有動極和定極,該定極包括有同軸且由內而外設置的單面定極軸、雙面圓環定極板、單面圓環定極板;該動極包括有對應定極設置且同軸的第一雙面圓環動極板和第二雙面圓環動極板;動極隨被測物件相對定極沿軸向移動時...
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