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一種低振動(dòng)高精度靜壓氣體軸承，由軸承體(1)、導(dǎo)向連接件(2)和氣體導(dǎo)向件(3)組成，其特征在于：所述的軸承體(1)內(nèi)部設(shè)置有氣體導(dǎo)向件(3)，軸承體(1)與氣體導(dǎo)向件(3)通過(guò)導(dǎo)向連接件(2)相連接，導(dǎo)向連接件(2)的外表面和軸承體(1)...該專利屬于中國(guó)計(jì)量學(xué)院所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)中國(guó)計(jì)量學(xué)院授權(quán)不得商用。