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本實用新型的名稱為一種器件快速烘干設(shè)備。屬于功率半導(dǎo)體器件生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。它主要是解決現(xiàn)有器件烘干只能使用烘箱，并且不能在烘干過程中保持器件干凈的問題。它的主要特征是：包括烘箱，所述的烘箱包括通道型烘箱箱體和設(shè)置在烘箱箱體內(nèi)的紅外烤燈；在...該專利屬于湖北臺基半導(dǎo)體股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過湖北臺基半導(dǎo)體股份有限公司授權(quán)不得商用。