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    下載硅基石墨烯場效應晶體管的技術資料

    文檔序號:8149902

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    本實用新型提供了一種硅基石墨烯場效應晶體管,其特征在于,自下而上包括:柵電極、低阻硅層、柵極氧化物層以及石墨烯層,該晶體管的源區和漏區位于該石墨烯層中,溝道區位于源區和漏區之間。...
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