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本發明公開了一種氣柜系統,尤其是一種高純安全特氣柜系統。本發明提供了一種在更換鋼瓶時保證鋼瓶管接頭的密封連接部清潔的高純安全特氣柜系統,包括特氣柜、設置在特氣柜內的特氣系統,所述特氣系統包括鋼瓶和管路系統,所述管路系統包括供氣管路、稀釋氣體...該專利屬于成都愛德工程有限公司;鐘廷志所有,僅供學習研究參考,未經過成都愛德工程有限公司;鐘廷志授權不得商用。
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