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一種用于光刻機的基于空間像線性擬合的投影物鏡波像差檢測系統和方法。本發明采用6個方向孤立空作檢測標記，通過對檢測標記空間像的線性擬合來得到波像差。本發明首先建立描述0°孤立空空間像與澤尼克像差關系的線性擬合矩陣以及描述孤立空方向影響的旋轉矩...該專利屬于中國科學院上海光學精密機械研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院上海光學精密機械研究所授權不得商用。
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一種用于光刻機的基于空間像線性擬合的投影物鏡波像差檢測系統和方法。本發明采用6個方向孤立空作檢測標記，通過對檢測標記空間像的線性擬合來得到波像差。本發明首先建立描述0°孤立空空間像與澤尼克像差關系的線性擬合矩陣以及描述孤立空方向影響的旋轉矩...