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本發明提供了一種功率器件單元區和保護環區PN結的結深測量方法，包括以下步驟：把金相切片好的樣品，浸泡入按照體積比HF∶HNO3∶CH3COOH＝1∶20∶5配制的單元區結染色液中6秒鐘后取出；使用掃描電子顯微鏡對上述浸泡過的金相切片進行截面...
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