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本發明公開了一種選擇性摻雜區域特性的檢測方法，該方法利用聚焦激光束在選擇性摻雜區域及其周邊區域進行掃描，同時測量每點產生的光電流，通過對比分析選擇性摻雜前后光電流的變化，可以對選擇性摻雜的均勻性和電阻進行表征，從而指導制備選擇性發射極的工藝...
該專利屬于順德中山大學太陽能研究院所有，僅供學習研究參考，未經過順德中山大學太陽能研究院授權不得商用。

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