溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本發明公開一種用于改進基板可重用性的邊緣排除剝離方法，其中采用邊緣排除區域使得剝離期間與邊緣相關的基板破裂最小化，其中應力施加層要么不存在（在沉積期間或者在后來的移除期間被排除），要么存在但是有效地不粘附于排除區域中的基板表面。在一個實施例...
該專利屬于國際商業機器公司所有，僅供學習研究參考，未經過國際商業機器公司授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。