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    下載微穿通型IGBT器件及其制作方法的技術資料

    文檔序號:8162645

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    本發明公開了一種微穿通型IGBT器件,包括:襯底,所述襯底具有第一導電類型的集電區、第二導電類型的漂移區、第一導電類型的阱區以及第二導電類型的源區;柵極;位于集電區與漂移區之間的第二導電類型的微穿通區,所述微穿通區的摻雜濃度高于漂移區的摻雜...
    該專利屬于中國科學院微電子研究所所有,僅供學習研究參考,未經過中國科學院微電子研究所授權不得商用。

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