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本發明提供能夠高效且高表面精度地對難以研磨處理的碳化硅進行研磨處理的研磨技術。本發明涉及一種用于研磨基材的研磨漿料，其特征在于，研磨粒子以氧化錳為主成分，研磨粒子的含量相對于研磨漿料不足10重量%。本發明的研磨漿料優選pH為7以上，特別優選...
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