溫馨提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本實(shí)用新型提供了一種微粒清除裝置，包括控制面板、吸氣馬達(dá)、清潔裝置、吸氣管道、吸嘴和吸嘴位置調(diào)節(jié)裝置，所述吸氣馬達(dá)通過(guò)所述控制面板控制其吸力的大小，所述吸氣馬達(dá)與所述清潔裝置連接，所述清潔裝置通過(guò)所述吸氣管道與所述吸嘴連接，所述吸嘴安裝在所...該專利屬于中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司授權(quán)不得商用。