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本實用新型公開了一種用于硼擴散工藝的石英爐門，包括石英門本體，所述石英門本體的內壁附著有一層在硼擴散高溫條件下化學性能穩定、且熱脹冷縮系數低于所述石英門體材料的熱脹冷縮系數的保護膜；本實用新型中通過在石英門本體內壁上設置高溫條件下穩定性比較...
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