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    下載氣體傳感器及其形成方法的技術資料

    文檔序號:8190140

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    本發明公開了一種氣體傳感器及其形成方法,該氣體傳感器包括:襯底;形成在襯底之上的介質層;形成在介質層之上的第一壓焊塊和第二壓焊塊;形成在介質層之上的碳基薄膜,其中,碳基薄膜位于第一壓焊塊與第二壓焊塊之間,且覆蓋第一壓焊塊與第二壓焊塊的一部分...
    該專利屬于清華大學所有,僅供學習研究參考,未經過清華大學授權不得商用。

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