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本發(fā)明提供的一種具有多孔結(jié)構(gòu)的雙大馬士革結(jié)構(gòu)，包括從下到上依次形成的金屬互連層、刻蝕阻擋層、氧化物層、第一介電絕緣層、第二介電絕緣層、金屬層和孔，所述孔設(shè)于所述金屬互連層和金屬層之間，所述第一介電絕緣層的介電常數(shù)為2.7~3.0，所述第二介...該專利屬于上海華力微電子有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過上海華力微電子有限公司授權(quán)不得商用。