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    下載碳化硅襯底的技術(shù)資料

    文檔序號(hào):8193779

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    第一單晶襯底(11)具有第一側(cè)表面且由碳化硅構(gòu)成。第二單晶襯底(12)具有與第一側(cè)表面相對(duì)的第二側(cè)表面且由碳化硅構(gòu)成。接合部(BD),在第一和第二側(cè)表面之間,使第一和第二側(cè)表面彼此連接且由碳化硅構(gòu)成。接合部的至少一部分具有多晶結(jié)構(gòu)。因此,可...
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