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本發(fā)明公開一種硅片在線自動檢測裝置，用于檢測隨傳輸線同步依次傳送的若干硅片是否為碎片并將碎片從所述的傳輸線上分揀出來，包括設(shè)置在所述的傳輸線的上方的檢測單元、與所述的檢測單元信號連接的控制單元及與所述的控制單元信號連接的分揀單元，檢測單元中...該專利屬于張家港市超聲電氣有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過張家港市超聲電氣有限公司授權(quán)不得商用。