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    下載一種高純鎵容器的清洗方法的技術(shù)資料

    文檔序號:8208187

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    本發(fā)明公開了一種高純鎵容器的清洗方法,其特征在于包括以下步驟:(1)將高純水加熱至60℃-80℃,浸泡容器15-25分鐘,搖床震蕩,使得鎵融化成為液態(tài),此時有少量的液態(tài)鎵會從容器上脫離;(2)用電子純的強(qiáng)堿性的無機(jī)堿溶液,加熱至60℃-80...
    該專利屬于南京隆潤半導(dǎo)體材料有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過南京隆潤半導(dǎo)體材料有限公司授權(quán)不得商用。

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