溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。
本發(fā)明公開了一種小口徑回轉(zhuǎn)軸對稱光學元件拋光裝置及方法。該裝置包括密封容器機構(gòu)，安裝于密封容器機構(gòu)內(nèi)腔中的工作臺驅(qū)動系統(tǒng)，與密封容器機構(gòu)連接的拋光流體循環(huán)系統(tǒng)；密封容器機構(gòu)內(nèi)腔上部形成負壓空間。拋光時利用負壓差的吸流效應(yīng)使拋光流體吸出、復(fù)合...該專利屬于湖南大學所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過湖南大學授權(quán)不得商用。