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一種玻璃夾具，它涉及太陽能電池硅基薄膜沉積設(shè)備。它包括有框架、蓋板、擋板、進(jìn)氣孔、排氣孔，所述的框架背面安裝有蓋板，頂部有一排排氣孔，底部有一排進(jìn)氣孔，蓋板內(nèi)側(cè)上方焊接有一個(gè)擋板，進(jìn)氣孔孔間距均勻，排氣孔孔間距由一端向另一端逐漸變小，在鍍膜...該專利屬于合肥圣泰光電科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過合肥圣泰光電科技有限公司授權(quán)不得商用。