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本發(fā)明屬于精密超精密加工領(lǐng)域，尤其涉及一種超精密珩磨裝置，包括相互連接的機(jī)床本體、珩磨裝置、ELID電解整形與修銳裝置以及在位檢測(cè)裝置和控制裝置，對(duì)所述ELID電解修整裝置和所述超聲珩磨裝置進(jìn)行復(fù)合珩磨的同時(shí)實(shí)現(xiàn)珩磨油石的電解修銳，所述珩磨...該專利屬于鄶吉才所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)鄶吉才授權(quán)不得商用。