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本發明提供一種基于熱加速腐蝕的射流研拋機構,主要解決了現有光學元件,尤其是非球面光學元件加工時成本較高,加工效率較低的問題。基于控制腐蝕的光學元件加工機構,包括被加工件固定裝置和用于提供加工運動軌跡的執行裝置、用于儲存腐蝕液的儲液裝置、用于...該專利屬于中國科學院西安光學精密機械研究所所有,僅供學習研究參考,未經過中國科學院西安光學精密機械研究所授權不得商用。
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本發明提供一種基于熱加速腐蝕的射流研拋機構,主要解決了現有光學元件,尤其是非球面光學元件加工時成本較高,加工效率較低的問題。基于控制腐蝕的光學元件加工機構,包括被加工件固定裝置和用于提供加工運動軌跡的執行裝置、用于儲存腐蝕液的儲液裝置、用于...