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本發明公開了一種射頻阻抗自動匹配裝置及方法，屬于微電子技術領域。所述裝置包括：第一及第二真空電容檢測機構、第一及第二信號變送器、功率計和單片機。第一、第二真空電容檢測機構的輸出端分別與第一信號變送器電連接，功率計與第二信號變送器電連接，單片...該專利屬于中國科學院微電子研究所;北京泰龍電子技術有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院微電子研究所;北京泰龍電子技術有限公司授權不得商用。