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本實用新型是一種集群磁流變-化學機械復合拋光裝置。包括機架、工件安裝旋轉裝置、拋光裝置和循環裝置，工件安裝旋轉裝置包括晶片貼盤、電主軸、夾具、Z向驅動裝置，電主軸與Z向驅動裝置連接，并與機架的垂直導軌匹配，晶片貼盤通過夾具安裝在電主軸的下端...
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