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    下載一種化學機械拋光液的技術資料

    文檔序號:8267675

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    本發明公開了一種化學機械拋光液,包含:水、研磨劑、能產生銀離子的化合物、冠醚。本發明的拋光液顯著增加了拋光液對可見光的穩定性,并可以保持拋光液具有長期穩定的拋光性能。...
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