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本發明公開了一種基于光熱成像的微電子封裝工藝質量檢測裝置，包括圖像獲取裝置、工作臺、控制裝置及數據處理裝置；其中圖像獲取裝置包括支架橫梁、平動電機、成像探頭、光發射器；平動電機固定于橫梁的下側面，成像探頭垂直固定于平動電機中的移動塊；光發射...該專利屬于華中科技大學;武漢飛恩微電子有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過華中科技大學;武漢飛恩微電子有限公司授權不得商用。
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本發明公開了一種基于光熱成像的微電子封裝工藝質量檢測裝置，包括圖像獲取裝置、工作臺、控制裝置及數據處理裝置；其中圖像獲取裝置包括支架橫梁、平動電機、成像探頭、光發射器；平動電機固定于橫梁的下側面，成像探頭垂直固定于平動電機中的移動塊；光發射...