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    下載激光光線的光點形狀檢測方法的技術資料

    文檔序號:8270186

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    本發明提供光點形狀檢測方法,包括:檢測基板保持步驟,在工作臺的保持面上保持檢測基板;激光光線照射步驟,通過聚光器對由激光光線振蕩構件振蕩出且不能對檢測基板和進行加工的輸出的激光光線進行會聚,并將其照射到檢測基板的發光體所處的區域;光強度檢測...
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