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一種納米圖形化和超寬頻電磁特性測量系統，包括電源、控制裝置和測量裝置，所述控制裝置與所述測量裝置連接，所述控制裝置和所述測量裝置分別與所述電源連接，所述測量裝置包括具有SEM成像或EBL圖形化功能的成像裝置、真空腔、真空系統、樣品臺和磁場響...該專利屬于中國科學院物理研究所;北京匯德信科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院物理研究所;北京匯德信科技有限公司授權不得商用。