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    下載玻璃加工方法的技術資料

    文檔序號:8270882

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    提供使用了蝕刻耐性高、且分辨率及剝離性優異的感光性樹脂組合物的玻璃加工方法。本發明的玻璃加工方法包括以下工序:在玻璃基板上形成含有具有酚性羥基的堿可溶性樹脂的感光性樹脂組合物的涂布膜的涂布膜形成工序;對上述涂布膜進行選擇性曝光的曝光工序;對...
    該專利屬于東京應化工業株式會社所有,僅供學習研究參考,未經過東京應化工業株式會社授權不得商用。

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