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    下載復合材料紅外探測器制備方法的技術資料

    文檔序號:8272514

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    復合材料紅外探測器制備方法,屬于電子材料與元器件技術領域。本發明包括下述步驟:1)制備襯底和絕熱層,襯底的厚度為0.01-10mm;絕熱層的厚度為100nm~50um;2)在絕熱層上制備熱敏感單元,所述熱敏感單元包括熱敏感薄膜和電極,熱敏感...
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