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一種半導體太陽電池表面的多層金屬納米顆粒結構的制備方法，包括如下步驟：步驟1：在半導體太陽能電池的表面生長一層第一介質膜；步驟2：在第一介質膜上生長一層金屬納米顆粒；步驟3：在金屬納米顆粒的上面再生長一層第二介質膜，并對第二介質膜進行平坦化...
該專利屬于中國科學院半導體研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院半導體研究所授權不得商用。

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