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本發(fā)明實現(xiàn)使用在可接近·分離地相對進行旋轉(zhuǎn)的處理用部中的處理用面之間進行流體的處理的裝置，制造控制了摻雜元素量的析出物質(zhì)、特別是金屬化合物的方法的提供。使用在可接近·分離地相對進行旋轉(zhuǎn)的處理用部中的處理用面(1、2)之間進行流體的處理的裝置...該專利屬于M技術(shù)株式會社所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過M技術(shù)株式會社授權(quán)不得商用。