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一種打印頭包括活動隔膜、用以使隔膜移動的壓電致動器以及設置在活動隔膜上的電子電路。一種制造打印頭的方法包括在電路晶片的第一側上制造CMOS電路以及在電路晶片的第二側中形成室,使得室的底部形成活動隔膜,并且CMOS電路被設置在與室的底部相對的...該專利屬于惠普發展公司,有限責任合伙企業所有,僅供學習研究參考,未經過惠普發展公司,有限責任合伙企業授權不得商用。
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一種打印頭包括活動隔膜、用以使隔膜移動的壓電致動器以及設置在活動隔膜上的電子電路。一種制造打印頭的方法包括在電路晶片的第一側上制造CMOS電路以及在電路晶片的第二側中形成室,使得室的底部形成活動隔膜,并且CMOS電路被設置在與室的底部相對的...