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本實用新型提供了一個多孔環繞型研磨液供應系統和研磨裝置，所述多孔環繞型研磨液供應系統包括供應管、循環管與隔離板，所述隔離板設置于所述研磨平臺的部分周緣處，所述隔離板上相對研磨平臺的側壁上開設有若干小孔，所述隔離板為中空結構，所述小孔與隔離板...該專利屬于中芯國際集成電路制造（上海）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中芯國際集成電路制造（上海）有限公司授權不得商用。
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