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本實用新型提出了一種實現薄膜厚度精確測量的裝置，包括邁克爾遜干涉儀、圖像傳感器CCD、數據采集模塊、硬件和驅動電路；邁克爾遜干涉儀用于產生干涉條紋，且邁克爾遜干涉儀上設有點光源；CCD用于記錄邁克爾遜干涉儀產生的干涉條紋，且CCD與數據采集...
該專利屬于華南師范大學所有，僅供學習研究參考，未經過華南師范大學授權不得商用。

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