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一種超精密機(jī)床的垂直運(yùn)動軸系，它涉及一種機(jī)床的垂直運(yùn)動軸系。本發(fā)明為了解決傳統(tǒng)垂直運(yùn)動軸系難以適用于面向復(fù)雜微細(xì)結(jié)構(gòu)加工的超精密機(jī)床的問題。兩個立柱并列設(shè)置在X軸溜板上，垂直運(yùn)動軸中溜板滑動連接在兩個立柱之間，垂直運(yùn)動軸中溜板的前側(cè)安裝有垂...該專利屬于哈爾濱工業(yè)大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過哈爾濱工業(yè)大學(xué)授權(quán)不得商用。