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一種計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制的高功率脈沖磁控濺射設(shè)備及工藝，屬于材料表面工程領(lǐng)域。該設(shè)備采用計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制系統(tǒng)對(duì)充氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)進(jìn)行控制，高功率脈沖電源控制單元對(duì)自建立放電參數(shù)模型模塊、自學(xué)習(xí)沉積速率模型模塊、峰值電流PID自適應(yīng)模塊和沉...該專利屬于大連理工大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)大連理工大學(xué)授權(quán)不得商用。